1、PSA變壓吸附制氧

吸附分離的核心是吸附劑，常用吸附劑為球狀或圓柱狀顆粒物，表面布滿微孔，顏色會有不同。當氣流通過吸附劑時，與微孔作用力大的組分被微孔吸附，作用力小的組分可流過微孔。從而實現(xiàn)組分的吸附分離。在吸附平衡情況下，低溫、高壓會讓吸附量變大。反之高溫、低壓會讓吸附量變小。因此氣體的吸附分離方法通常采用變溫吸附或變壓吸附兩種循環(huán)過程。其中，變壓吸附（簡稱PSA）是目前應用最廣泛，技術最成熟，綜合成本較低的制氧方式。

PSA制氧得到的氧氣，濃度在90~95％左右，壓力在0.4MPa左右。單位能耗隨產(chǎn)能增加稍有降低，與氧氣純度相關。中小產(chǎn)能適合采用PSA方式制氧。

氧分子篩

2、VPSA真空變壓吸附制氧

VPSA（真空變壓吸附）吸附原理與PSA類似，只是吸附壓力大大低于PSA。VPSA制氧設備在穿透大氣壓的條件下，利用VPSA專用分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質(zhì)，在抽真空的條件下對分子篩進行解吸，從而循環(huán)制得純度較高的氧氣（90~95%）。VPSA能耗較低，設備越大其單位能耗越低。

VPSA制氧得到的氧氣，濃度在90~93％左右，出口壓力略高于常壓。產(chǎn)能越大，能耗遞增比例越低。較大大產(chǎn)能適合采用VPSA方式制氧。

3、膜分離制氧

膜分離法是利用有機聚合膜滲透選擇性，從空氣中分離出氧氣?？諝庠谕ㄟ^制氧膜時，由于氧氣比氮氣更易滲透出膜，以此實現(xiàn)氧氮分離。

膜分離法制氧需要定期更換富氧膜，所以制氧成本較高，其產(chǎn)出氧氣濃度最高約40％，壓力略高于常壓。（膜分離的氮氣濃度最高約95％）